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真空镀膜设备如何选配真空泵部件

来源:www.bllvac.com发表时间:2017-12-18

一、在选真空泵时,首先要注意真空泵在工作时产生的振动对工艺和环境是不是存在着影响,如果工艺过程受到影响,应该采取防振措施或者另选真空泵。在选择的时候需要了解待抽气体的成分,如果需要选择性的抽气,一种泵可能不足以满足要求,必须组合多种不同的泵互相配合工作,如果真空镀膜设备镀膜要求无油则要选用无油泵。 

二、真空泵的价格和维修费用也是我们考虑的重点之一。

三、真空镀膜设备对于真空度的极限要求和工作压力强度要求越来越大,对真空泵的抽真空能力要求就越高,起码泵的极限抽真空度要高于真空设备工作真空度的半个数量级以上。每种泵都有一定的工作压强范围,譬如像扩散泵的压强为3~10-7mmHg,其稳定工作压强范围为5*10-4~5*10-6mmHg,那么使用扩散泵就不能让其在未定工作压强范围之外工作。

四、当泵需要的气体压力不高或所需的真空度不高的时候,可优先在单级泵中进行选择,度过排气压力或真空度的要求比较高,单击泵往往不可以满足要求,可以选择使用两级泵或者多级泵。


  

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