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真空镀膜设备厂家为你介绍真空镀膜设备的化学成分的分析

来源:www.bllvac.com发表时间:2018-05-22

1、厚度上的均匀性:也可以理解为粗糙度,在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位,约为100A),真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有任何障碍,但是如果是指原子层尺度上的均匀度,也就是说要实现10A甚至1A的表面平整,具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。
  2、化学组分上的均匀性:就是说在薄膜中,化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性,SiTiO3薄膜,如果镀膜过程不科学,那么实际表面的组分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,镀的膜并非是想要的膜的化学成分,这也是真空镀膜的技术含量所在,具体因素也在下面给出。
  3、晶格有序度的均匀性:这决定了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空镀膜技术中的热点问题。
氧化物怎么镀膜?

  氧化物镀膜过程是很复杂的,但其主要影响因素就是镀膜原料成膜的时候凝聚力、镀膜与基材的吸附力及基材温度,而三者之间又相互关联约束。那氧化物的镀膜到底是怎么个过程呢?下面我们就来听听真空镀膜设备公司的讲解!

  从蒸发源射出的蒸汽流脱离蒸镀原料表面的时候温度很高,能量也比较高,在上升通过蒸发区到达基材表面的过程中,由于碰撞、运动中的能量交换导致动能下降,到达基材表面的粒子很快与基材交换能量,迅速沉积在其表面。

  在镀膜工艺中,离子轰击改善基材的表面,在蒸发区建立等离子气体以提高气化微粒功能等辅助手段,较好地解决了镀膜与基材结合牢固度的问题。


  

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