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真空镀膜机厂家为你介绍真空镀膜机故障的相应处理方法

来源:www.bllvac.com发表时间:2018-08-03

真空镀膜机掌握了故障的原因,就很容易知道处理方法了。下面跟大家分享下它的常见故障以及处理方式方法:
当镀膜机出现故障后应首先要向使用者了解故障的现象,之后要亲自开机观察故障,这样才能更准确、更快、更合理的排除故障。
排除故障应先检测低真空是否正常(机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸发室),低真空正常后再开主泵,主泵工作正常后检测下室真空中是否正常,下室真空正常再开高阀进行高真空检测检漏,直至达到工作真空,极限真空、保真空、恢复真空,如极限真空和保真空正常,而恢复真空和工作真空不正常则可能主泵有问题。
以下列举常见故障及维修方法:
一、当正在镀膜时真空度突然下降
1、蒸发源水路胶圈损环(更换胶圈)。
2、坩埚被打穿(更换坩埚)。
3、高压电极密封处被击穿(更换胶圈)。
4、工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈)。
5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)。
6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)。
7、机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常)。
8、烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圈)。
9、挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈)。
10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃)。
11、扩散泵部分不加热。(更换扩散泵电磁加热器)。
之前扩散泵都是使用电炉盘加热的,由于自身发热再把热量传递到泵底,这样长时间处于高温就寿命短,容易烧坏。现在新型的加热扩散泵泵底,电磁线盘直接产生磁场使泵底发热,使用寿命至少10年以上,加热效率也提高1/3,还省电环保,大家可以试试。
二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空:
1、蒸发室有很多粉尘(应清冼)。
2、扩散泵很久未换油(应清冼换油)。
3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低(应清冼换油)。
4、各动密封胶圈损坏(更换胶圈)。
5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化(更换胶圈)。
6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏(更换胶圈)。
7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象(重新压紧)。
8、高低预阀是否密封可靠(注油)。

  

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