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真空镀膜机厂家为你介绍靶管内真空镀膜技术和镀膜设备

来源:www.bllvac.com发表时间:2018-09-05

 管内镀膜设备及镀膜技术,属于特殊薄膜制备技术领域。采用磁控滅射镀膜技术,以被镀管的管壁为真空腔的侧壁,两端进行真空密封,并设置排气口和充气管道。放电阴极为圆柱状,与被镀管同轴设置,其内部水冷,但不在其中设置磁体,阴极外表面设置圆柱靶材,与阴极紧配合,或者阴极外表面直接作为靶材。磁体设置在被镀管的外部,即处于大气中。本发明所涉及的设备简单,成本低,适合各类内径大于50mm的管内镀膜,可大规模推广应用。
  1.管内镀膜设备及镀膜技术,其特征在于:采用磁控溅射镀膜技术,以被镀管的管壁为真空腔的侧壁,两端进行真空密封,并设置排气口和充气管道;放电阴极为圆柱状,与被镀管同轴设置,其内部水冷,但不在其中设置磁体,阴极外表面设置圆柱靶材,与阴极紧配合,或者阴极外表面直接作为靶材;磁体设置在被镀管的外部,即处于大气中。
  2.根据权利要求1所述的管内镀膜设备及镀膜技术,其特征在于:所述的磁体为空心圆柱结构,与被镀管同轴设置,产生轴向磁场,镀膜过程中磁体沿轴向移动。
  3.根据权利要求1所述的管内镀膜设备及镀膜技术,其特征在于:所述的磁体为长跑道形结构,磁体长度与被镀管长度相当,除两端外,产生基本与轴向垂直的磁场,镀膜过程中,磁体整体绕被镀管旋转,旋转轴与被镀管中心轴线相同。
  4.根据权利要求1、2和3所述的管内镀膜设备及镀膜技术,其特征在于:如果被镀管为没有磁性的金属管,则被镀管为阳极。
  5.如果被镀管为绝缘管,则被镀管内与轴向平行设置细杆状或细管状金属阳极1根或多根。
  6.根据权利要求4所述的管内镀膜设备及镀膜技术,其特征在于:所述的细管状金属阳极可同时作为充气管道,不再另外设置充气管道;在细管状阳极侧壁上开进气孔。
  7.根据权利要求1、2所述的管内镀膜设备及镀膜技术,其特征在于:采用直流磁控溅射、射频磁控溅射或脉冲磁控溅射在被镀管内壁上沉积薄膜,改变空心圆柱形磁体的半径,调整阴极表面附近磁场强度;沉积过程中,磁体沿轴线移动,放电区域也跟着移动,薄膜被均匀镀制在被镀管的内表面上。
  8.根据权利要求1、3所述的管内镀膜设备及镀膜技术,其特征在于:采用直流磁控溅射、射频磁控溅射或脉冲磁控溅射在被镀管内壁上沉积薄膜,调整磁体与被镀管外表面的间距,使得横向磁场最强处位于阴极表面附近;沉积过程中,磁体绕被镀管匀速旋转,放电区域也跟着旋转,薄膜被均匀镀制在被镀管的内表面上。

  

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