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多弧磁控镀膜机的使用及维护

来源:www.bllvac.com发表时间:2017-04-28

多弧磁控镀膜机其工作原理是在真空状态下,使用弧光放电和辉光放电的工作原理。在金属和非金属的工件表面上镀制金色的氮化钛,黑色碳化钛,七彩的氮氧化钛等。亦可镀防腐蚀膜(如AL,Cr不锈钢及TiN等)和耐磨膜,膜层与基底结合牢固,适合于手表、五金餐具、陶瓷及要求磨超硬的刀具,模具等,具有很好的发展前景。
  
多弧磁控镀膜机使用及维护
使用前各电源开关及操作按钮应处于断开位置,接通水源,气源,电源。
1)打开真空控制电源开关。
2)开维持泵对扩散泵抽低真空,并测量前级真空度。
3)待前级压力达到5.0*10pa后,开扩散泵加热。
4)开充气阀,对镀膜室充气,打开镀膜室门,装好清洗干净的工件,关好炉门。
5)待扩散泵正常工作一小时后,开机械泵开预抽阀,对真空室手抽真空至1.0*103pa,然后开罗茨泵。
6)当压力达到3.0*10pa后,关预抽阀,开前级阀。开高真阀,对镀膜室抽高真空。
7)当真空室压力达到8*10-3pa后开工作旋转,并开加热至设定值。
8)开始镀膜操作程序。
9)镀膜操作程序结束。
10)降炉温至100oC以下,打开充气阀炉门取出工件,每一炉使用之前对炉内进行清洁。
11)一个工作周期后,要用吸尘器把镀膜室内的粉尘吸干净,避免短路或污染真空系统。
12)经过一段时间要取下挡板进行清洗。


  

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